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石英玻璃片镀膜要注意什么
编辑:东海县硅宝石英制品有限公司   时间:2019-11-12

    石英玻璃片磁控溅射镀膜需要注意什么。

    优点:一般备有辅佐离子源,能够用来清洗石英片,清洗效果好;

    由于装有中和器,也能够用来制备绝缘膜层;

    易于制备熔点高的资料;

    制备合金膜层,能够保证膜层资料份额与靶材相同;

    靶材粒子能量高(比热蒸腾高出1个数目级),所制备膜层更细密,与石英片结协力更高。

    缺点:离子源整理和中和器灯丝更换较频频;

    一般镀膜速率较慢,每秒几十埃;

    不适宜制备较大面积薄膜。

    机器运行时的注意事项:

    重视真空度目标;

    保持机器内舱各部位的清洁;

    测试并记载镀好的石英振子主要目标,如:频率、电阻、DLD等;

    溅镀后的石英振子要用3M胶带查看其牢固度;

    根据镀出石英振子的散差,调整遮挡板的各部尺寸;

    查看并记载抽真空的时刻,如有延长,立刻查看形成的原因;

    将不良品挑出:电极错位、划伤、脏污、掉银等。

    以上是小编给咱们叙述的石英玻璃片镀膜要注意什么,咱们能够简单的了解看看。内容仅供咱们参考,需要咨询了解的能够联络咱们。


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