石英套管是一种只含二氧化硅单一成份的特种玻璃。由于种类、工艺、原料的不同,国外基本上都叫硅酸玻璃、石英套管、熔融石英、熔凝石英、合成熔融石英,以及没有明确概念的透明、半透明、不透明石英等。
我国统称石英套管,多按工艺方法、用途及外观来分类,如电熔透明石英套管、连熔石英套管、气炼透明石英套管、合成石英套管、不透明石英套管、光学石英套管、半导体用石英套管、电光源用石英套管等。人们习惯于用“石英”这样一个简单的词汇来命名这种材料,这是*不妥的,Aquafine套管因为“石英”是二氧化硅结晶态的一种通称,它与玻璃态二氧化硅在理化性质上是有区别的。
纯度是石英套管的重要指标,对理化性能和使用性能影响甚大,如失透性、高温强度、软化点、光的传导、热稳定性、化学稳定性、耐辐射性、荧光特性等;此外,用于半导体工业的石英套管,对纯度的要求更为苛刻,微量的杂质将给半导体材料的电性能和寿命以及集成度带来严重的影响。
由于半导体材料的纯度要求控制在ppb数量级以下,因此石英套管则应控制在PPm数量级以适应半导体工业的需要。
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